佳武
 

IWAKI 半導(dǎo)體氣動(dòng)泵FS-N 系列
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品牌： IWAKI
單價(jià)： 面議
起訂：
供貨總量：
貨期： 現(xiàn)貨
所在地： 日本
有效期至： 長(zhǎng)期有效
最后更新： 2024-12-09 23:23
瀏覽次數(shù)： 111
詢價(jià)
公司基本資料信息
 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
  　　高速?zèng)_程
　　高速?zèng)_程 (FS-80N*高達(dá)200 spm)，讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低，可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。
　　無(wú)污染設(shè)計(jì)
　　過(guò)流端采用氟樹(shù)脂無(wú)污染構(gòu)造，使用獨(dú)有的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng)專利)。
　　高流量及高吐出壓力
　　*大吐出量高達(dá)0.7MPa，不僅滿足化學(xué)供藥過(guò)程中高流量及高吐出壓力的需求，同時(shí)適用于清洗及CMP制程。
　　傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
　　內(nèi)置式開(kāi)關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開(kāi)/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
 
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