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產(chǎn)品詳細說明
自動化標(biāo)線管理和可追溯性
增加掃描儀/光刻單元的正常運行時間
降低標(biāo)線返工成本
保護掩模免受化學(xué)污染、霧霾和晶體生長
曝光次數(shù)增加導(dǎo)致光罩壽命延長
全自動光罩處理
可靠、安全的處理，減少光罩和薄膜損壞
低擁有成本 (COO)
低吹掃氣體消耗
市場上 高的存儲密度 更多»本企業(yè)其它產(chǎn)品
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