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產(chǎn)品詳細說明
Candela 8520*二代集成式光致發(fā)光和表面檢測系統(tǒng)，設(shè)計用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進行高*表征。采用統(tǒng)計制程控制(SPC)的方法來進行自動晶圓檢測，可顯著降低由外延缺陷導致的良率損失，*大限度地減少金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器的工藝偏差，并增加MOCVD反應(yīng)器的正常運行時間。
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