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產(chǎn)品詳細說明
67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計，用作下游控制和隔離閥。
工藝室中的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量。雖然氣體流入傳統(tǒng)上在工藝設(shè)計中受到*多關(guān)注，但下游流動也為工藝優(yōu)化提供了潛力。
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