佳武
 

美國(guó)ACM RESEARCH 涂膠設(shè)備
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品牌： ACM RESEARCH
單價(jià)： 面議
起訂：
供貨總量：
貨期：
所在地： 美國(guó)
有效期至： 長(zhǎng)期有效
最后更新： 2024-12-09 23:03
瀏覽次數(shù)： 144
詢價(jià)
公司基本資料信息
 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
 　　美國(guó)ACM RESEARCH  刷洗設(shè)備
涂膠設(shè)備
• 可選配HMDS
• 涂膠
• 前烘
主要優(yōu)勢(shì)
創(chuàng)新的雙層旋涂方法
精確的涂膠厚度和均 性控制
腔體自動(dòng)清洗功能
進(jìn)的熱/冷盤模塊
技術(shù) 進(jìn)，使用便捷
特性和規(guī)格
兼容8英寸和12英寸晶片
可配 多四個(gè)涂膠腔體,并配置腔體自清洗功能
每個(gè)涂膠腔體可配有兩種光刻膠噴嘴
去邊（EBR）噴嘴, 預(yù)濕噴嘴, 正背面清洗噴嘴
2到8個(gè)熱盤，2到6個(gè)冷卻盤，1到2個(gè)HMDS模塊
 
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